電子功能陶瓷材料
微電子工業(yè)是世界經(jīng)濟(jì)發(fā)展的一個(gè)熱點(diǎn)。我國(guó)已將微電子產(chǎn)業(yè)列入“十五”的發(fā)展重點(diǎn),電子功能陶瓷是微電子器件的基本材料之一,用途廣泛。本年度重點(diǎn)支持:
(1)大規(guī)模集成電路用新型封裝材料和高頻絕緣用新型高性能絕緣陶瓷;
(2)可代替進(jìn)口的新型微波陶瓷和陶瓷電容器用介電陶瓷與鐵電陶瓷;
(3)大規(guī)模集成電路用高性能貼片元件專(zhuān)用電子陶瓷原料與制品。
敏感功能陶瓷材料
敏感功能陶瓷在機(jī)電一體化用的傳感器和微動(dòng)作執(zhí)行機(jī)構(gòu)等方面有廣泛的應(yīng)用,我國(guó)在這方面有很大的進(jìn)步,但一些關(guān)鍵的高性能傳感器等產(chǎn)品與國(guó)外同類(lèi)產(chǎn)品仍有差距,整體技術(shù)水平急待提高。本年度重點(diǎn)支持:
(1)新型高性能工業(yè)溫度、濕度檢測(cè)、汽車(chē)傳感器用的陶瓷;各類(lèi)氣體探測(cè)用功能陶瓷;溫度補(bǔ)償器、熱傳感和自控加熱元件等功能陶瓷;
(2)超聲轉(zhuǎn)換、微位移器、新型壓電馬達(dá)、濾波器用壓電陶瓷材料;
(3) 無(wú)機(jī)非金屬智能材料、能源轉(zhuǎn)換材料及產(chǎn)品。